1、 采用调质热处理

对基本硬度要求不高，而表面硬度要求较高的精密复杂模具，可采取模具粗加工后进行调质热处理，精加工后进行低温氮化处理（500~550℃），由于模具氮化温度低，不存在基体组织相变，另外炉冷至室温出炉，冷却应力也较少，模具变形较小。

2 、 采用预先热处理

对精密复杂模具，如其硬度要求不太高，可采用预先热处理的预硬钢，对模具钢（如3Cr2Mo, 3CrMnNiMo钢）进行预先热处理，使之到达使用时的硬度（较低硬度为25~35HRC，较高硬度为40~50HRC），然后把模具加工成型不再进行热处理，从而保证精密复杂模具的精度。
3、 采用时效硬化型模具钢
对精密复杂模具可采用时效硬化钢，如 PMS(1Ni3Mn2CuA1.Mo)钢是一种新型时效模具钢，在870℃固溶淬火后的硬度在30HRC左右，便于机械加工，模具加工成型后再进行 500℃左右的时效热处理，即可获得40~45HRC的较高硬度，模具变形较小，只需要进行抛光处理，是理想的精密复杂模具用钢。