(2)手动直接操作设备MSPC，通过1号参数菜单给3号靶材加电，能够在10s内使功率到设定值，说明靶材、控制电源没有故障。(3)通过微机控制PLC给MSPC加电命令，结果控制失败。用数字万用表测量MSPC的27号端子没有24V DC。其信号有上级智能模块I/O输出，该模块型号是1791-IOBX，128 POINT，对应输出端子是“016T”，指示灯显示正常，但检测不到电压。判断是端口损坏，需要固件维修。(4)打开I/O模块，内部有两层电路板，上面一层是由以单片机为控制核心的电路板，下面一层是输入输出接口电路板，两块是针式插接。拆卸上面的电路板要特别小心，要防止静电电压。(5)检查接口板，其输出接口是由集成模块NEC1523H控制，因无法查到集成电路资料，增加了维修难度，其模块外形如图1。根据电路特点，利用“黑箱原理”测量电路控制数据，推测原理图并论证，得到模块控制原理图，如图2所示，用该电路替换后使用正常。