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半导体气体传感器可分为电阻型和非电阻型结型、MOSFET型、电容型。电阻型气敏器件是气体分子引起敏感材料电阻变化;非电阻型气敏器件有Ms二极管和结型二极管以场效应管MSFET,它利用敏感气体会改变MOSFET开启电压,其与ISFET离子敏传感器件相同。
1、灵敏度
可见,在一定温度下,固定PO21,有上式可出传感器极待测氧气浓度。除测氧外,β一Al2O3、碳酸盐、NASICON等固体电解质传感器,还可用来测CO、SO2、NH4等气体。近年来还出现锑酸、La3F等可在低温下气体传感器,并可用于正离子。