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1、蓄热焚烧工艺（RTO）
有机废气在一定温度下与氧气发生反应，生成CO2和H2O，并放出一定热量的氧化反应过程，RTO是把废气加热到780℃以上，使废气中的VOC氧化分解为CO2和H2O，氧化产生的高温气体流经陶瓷蓄热体，使之升温“蓄热”，并用来预热后续进入的有机废气，从而节省废气升温燃料消耗的处理技术。该工艺也是国内废气治理的主流工艺，但其安全性要求高、并具有高耗能及在某些行业带来二次污染。
2、直接燃烧工艺
直接燃烧法就是利用燃气等辅助性材料将废气点燃，促使其中的有害物质在高温燃烧下转变成无害物质。该方法投资小，操作简单，适用于浓度高、风量小的废气，但其更高耗能及更高的安全技术要求，同时也带来二次污染问题。
3、吸附工艺
利用活性炭对有机废气进行吸附净化处理，净化率可达95%以上。该方法设备简单、前期投资较少，但需要经常更换活性炭，频繁的装卸、更换等程序增加运行费用，并且更换的活性炭还是危废，需要有危废资质的处理公司进行处理，增加后期运行成本。此外活性炭吸附单一工艺治理有机废气很难达标排放，所以国家也明令禁止使用单一活性炭吸附方式治理有机废气。
4、吸收工艺
有机废气中含易溶于水或酸性及碱性物质多采用物理吸收法，就是将废气引入吸收液中进行吸收净化，如配备水洗、碱洗及酸洗塔等设备。在浓度低、温度低、风量大的情况下可采取吸收法，但需要配备加热解析回收装置，投资额大，也不能单独做处理工艺使用，必须配合冷凝或焚烧工艺处理。
5、冷凝回收工艺
冷凝法就是将有机废气直接引入到冷凝器中，当有机废气达到熔点温度，使其冷凝呈液态，达到回收目的，并使废气达到排放标准。当有机废气浓度高、风量较小时，可采用冷凝法进行净化处理，一般应用于医药化工、精细化工及石化企业油气回收。冷凝制冷方式分为机械式制冷及液氮制冷，国内做的比较多的还是压缩机分段冷凝方式，应用在石化企业油气回收行业比较多，但其冷凝温度最大能到零下75℃左右，很难满足部分熔点更低的有机废气的冷凝回收，但其具有高耗电，安全性要求高的缺点。
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