简要说明：“激光微加工合用于聚合物及采用其它技能难以进行微加工操作的资料的洁净切割、钻孔和成型。

“激光微加工合用于聚合物及采用其它技能难以进行微加工操作的资料的洁净切割、钻孔和成型，”JPSA(新罕布什尔州，Manchester;www.jpsalaser.com)发卖司理Bill Kallgren说道。公司的紫外线技能应用光切除进程——激光器宣布的紫外线惹起的挥发生用——构成等离子体羽辉，去除极为精密且定量的资料。据Kallgren称，其后果可以取得洁净的孔、通道或零件。

　　公司除供应二极管泵浦固体激光器、激光微加工设备及紫外线和真空紫外线激光光束传输系统外，还可供应各类激光系统，包罗IX-3000 ChromAblate，这是一款可完成微米级加工的紫外准分子激光系统，其公役达亚微米级。其典型的使用范畴包罗支架、导管、微流体设备、芯片实行室生物传感器、喷嘴和微电机系统。Kallgren指出，JPSA的机械可以处置各类资料，包罗聚合物、陶瓷、玻璃、金属和其它资料。

　　因为激光技能可以构成光鲜的轮廓、润滑的壁、通明亮光的外表及其它复杂的特征，因而它有助于很多复杂的医疗器械的出产。Kallgren谈论说：“诸如微流体设计等医疗器械制造范畴凡间需求加工复杂的孔、锥体、通道或取样室。这些能够是微型特征，但还需求到达一致和不变的巨细。紫外准分子激光设备可以加工出复杂且可反复的几何外形。”

　　虽然目的是构成复杂的几何外形，但分歧的使用范畴需求分歧的定制设备。“我们的规范系统是高级工程设备，但它们采用了模块化的设计，因而我可以依据客户的要求对设备进行增减，”Kallgren分析说。例如，用于简略加工的系统能够带有X-Y-θ平台，假如还需求调焦，则能够带有z-θ平台。从另一方面来说，客户能够需求卷带式平台和视觉瞄准设备进行主动化的多量量出产。

　　在准分子激光系统中，能够需求附加的活动轴来执行主动掩膜更改功用，用以选择分歧的图像并将其投射于目的上。协调相对活动使得系统可以扫描光束局限内的掩膜，在有些特定的状况下可以还扫描下面的部件。“简略的说，系统可以只进行四轴活动，也可以进行16轴活动，详细取决于客户的做法，”Kallgren说道。

　　Kallgren说道，瞻望将来，波长和热学节制是需求特殊留意的当地。“客户不再切割金属支架，他们更多的存眷于新型资料，如生物可接收资料。问题在于，良多这种资料对热敏感。”例如，凡间采用YAG、CO2或延续式激光器进行支架切割，这些技能构成热影响区，会对新资料制成的支架形成毁伤。但据Kallgren称，通俗紫外激光器虽然具有较高的光子能和带隙，但仍非幻想选择。

　　Kallgren说：“我们等待脉冲宽度成为提拔质量的另一种调理方法。脉冲宽度较短，则光线与资料接触的工夫更短，制造工艺较冷。”基于此目的，公司探究皮秒或飞秒激光波长的脉冲局限的二极管泵浦固体或准分子激光器的使用。Kallgren增补说，这些技能能完成多光子接收且在目的基材上发生的热量较小，因而是一种洁净、高分辩率、高保真度的微加工办法。

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