简要说明：GDMS 是目前唯一一种一次可以扫描几乎所有杂质元素的分析手段，最多一次支持多达 75种元素。对于希望检测材料中多种杂质浓度级别或纯度，GDMS 是比较理想的检测方法

                                                 GDMS高纯度元素测试

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GDMS辉光放电质谱仪

      利用阴极溅射。辉光放电形成的正离子轰击样品，能量从几百到几千电子伏的正的氩离子被加速到样品表面。导致样品上层被腐蚀或雾化。在质谱仪经过质量分离后测量从溅射区域产生的分析离子，经RSF转化成浓度。

GDMS优点

     能够探测到每种杂质的化学态的全部浓度，不需要通过化学方法。可以一次性测出全部的73种元素的含量，可以精度到小数点8位。检测成本低

GDMS缺点

     H、C、O、N元素的探测极限较差

GDMS适用范围

石墨高纯度测试  
碳高纯度测试
硅高纯度测试
碳化硅高纯度测试
氧化物高纯度测试
陶瓷高纯度测试
等