详细介绍: CL-2400非接触式测厚仪
CL-2400、CL-6200
产品简介:
日本小野CL系列显示器有两种型号,CL-2400是用于导体、半导体测量,CL- 6200用于导体、半导体及绝缘体测量。这两种型号,可广泛应用于硅晶片、铁板、胶片、玻璃板等。与各种传感器配套,可测量0.1 μm ~99.9999mm (导体・半导体测量时)及0.1 μm~5.000mm (绝缘体测量时)。 CL-2400 は導体・半導体を対象とした非接触厚さ計です。対向した2 個の VE シリーズセンサの間に測定対象を通すことにより、その厚さを測定することができます。BCD 出力、RS-232C インタフェース、ステータス出力、エラー信号出力、リモートコントロール入力など多種類の入出信号を標準装備して、パソコン、シーケンサ等の外部機器との通信ができ、計測装置のシステムアップが容易です。
产品特点:
1、測定対象に影響を与えない、非接触による測定
2、ディジタル表示のため、読み取りが簡単
3、単純なセンサの構造が、優れた耐久性を実現
4、独自の演算方式により高精度・高安定性・高分解能
5、インラインによる厚さ測定が可能
6、ディジタル出力、プリンタ用出力を備えていますので、記録等が可能
7、豊富なインタフェースにより、計測制御のシステムアップが可能
功能应用:
測定サンプル例
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導体・半導体
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シリコンウェハ、鋼板、アルミ板、ハードディスク、プリント基板、その他金属板などクリーンさを要求されるもの、軟らかいもの、鏡面仕上げ、キズのつきやすいもの。
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规格参数:
測定項目
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測定対象物の厚さ
センサAと測定対象とのギャップ
センサBと測定対象とのギャップ
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表示モード
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厚さまたはギャップを絶対値表示
測定値の最大値、最小値、最大値-最小値
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分解能
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CL-2400型に、予めセットされたセンサにより自動的に決定。センサ7種までセット可能。
VE-121、VE-222、VE-521、VE-525A、VE-133→0.1μm単位
VE-231、VE-531 →1μm単位
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パラメータ設定
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測定・演算に必要な各種パラメータはパネル面の各種キーを使用し、内部メモリーに設定します。これらの設定値はパワーオフメモリーにより電源を切っても記憶されます。
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サンプリング時間
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20ms
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アベレージング
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BCD出力時
平均回数:1~64回の移動平均
LEDの測定値表示は0.2秒の単純区間平均
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リアルタイムデータ処理
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測定データの最大値・最小値、最大値一最小値をリアルタイムで表示。
スタートでデータを初期化。
ストップでデータをホールド。
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表示
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LED:緑色7セグメント6桁表示、単位表示、エラー表示
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プリンタ出力
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BCD出力を利用して、RQ-1410(ディジタルプリンタ別売り)にて印字
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外部コントロール
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外部の接点信号等により、制御可能。
制御項目:● START/STOP ● PAUSE ●校正開始入力
入力仕様:フォトカプラ入力(順電流 If=10mA typ)
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インタフエース/入力信号
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BCD : 5桁BCD出力
コネクタ;アンフェノール36P
出力形式;オープンコレクタ出力
RS-232C: コネクタ;HR12-10R-8SD
ボーレート;9600、2400、1200選択
パラメータ設定; Xon_Xoff、8Bit、パリティなし、ストップBit 1固定
※別売 接続ケーブルAX-5022 ¥12,000 (CL-2400←→PC-ATパソコン)
SYNC : CL-2400をカスケード接続する場合のキャリア用
クロックの入出力
コネクタ;C02(BNC)
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電源
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AC 100~240 V 50/60 Hz 消費電力 30 VA 以下
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使用環境 (本体のみ)
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温度:+18℃~+28℃(精度保証範囲)、0℃~+40℃(使用範囲)
湿度:20~80%R.H(但し結露しないこと)
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外形寸法
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210(W)×99(H)×350(D)mm
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質量
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約 3.7 kg
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广州技创电子设备有限公司:http://www.gzjc1718.cn
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