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栅极绝缘膜厚度小
按制程顺序,后形成的薄膜必须良好地覆盖先形成薄膜形状的高低台阶差。就非晶硅型TFT而言,栅极绝缘膜必须覆盖栅极金属层,为了扫描线信号延迟的考虑,栅极金属层必须有一定的厚度,使扫描线上的亚像素等效电阻不至于太大,而栅极绝缘膜一般需要比被覆盖的栅极金属层厚度更大,才能完整覆盖栅极金属层,以免常见的短路缺陷的发生;非晶硅型TFT的栅极金属层与栅极绝缘膜厚度,一般值各约为200nm与360nm。另一方面,就LTPSTFT而言,栅极绝缘膜只需覆盖半导体层即可,由于半导体层并不用来作为导线使用,厚度不需要太大,LTPSTFT的半导体层与栅极绝缘膜厚度的一般值各约为50nm与100nm。
一般会利用栅极绝缘层形成储存电容,虽然一般LTPSTFT的栅极绝缘层使用的是氧化硅膜,介电常数约为3.9,比一般非晶硅型TFT的栅极绝缘层使用的氮化硅膜的介电常数6.9要小,但最后栅极绝缘层的介电常常数与厚度的比值,LTPSTFT仍会比非晶硅型TFT大了约为2倍,使得储存电容的面积可以降低分为二分之一左右。
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