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粘贴型压阻式力敏传感器由四只半导体应变片接成全桥形式,用粘合剂贴在弹性元件上构成,它具有很高的应变灵敏系数,一般为20~200,因此输出高,输出灵敏度一般为15~0mV/V,但易发生零点漂移与蠕变,同时还存在半导体应变片和弹性元件热膨胀所带来的温度漂移等影响。扩散型压阻式力敏传感器大都采用单晶硅和半导体平面工艺制成的。一般以N 型硅为衬底,采用氧化、扩散等工艺将硼原子沿给定的晶向扩散到n 型硅衬底材料中,形成P 型扩散层。
结果硼扩散区便形成应变电阻,并用衬底形成一个整体,当它受到压力作用时,应变电阻发生变化,从而使输出发生变化。
压阻式力敏传感器有灵敏度高、精度高、体积小、重量轻、工作频率高、结构简单、工作可靠、寿命长等特点。
电容式力敏传感器近来得到了迅速发展,这种传感器的核心部分是对压力敏感的电容器。力敏电容器的电容量是由电极面积和两个电极间的距离决定。
当硅膜片两边存在压力差时,硅膜片产生形变,电容器极板间的间距发生变化,从而引起电容量的变化。这样,电容变化量与压差有关,因此,就可作为力敏传感器。它与压阻式力敏传感器相比,具有灵敏度高、温度稳定性好、压力量程大等特点。表5-1 是按工作原理对力敏传感器进行分类,本章主要介绍半导体应变片构成的力敏传感器的应用技术。
轮辐式称重传感器:
H2A-G2-1MN-5T,H2A-G2-2MN-5T,H2A-G2-4MN-5T,H2A-G2-3MN-5T,
H2A-G2-5MN-5T,H2F-C3-5t-5B,H2F-C3-10t-5B,H2F-C3-20t-5B
H2F-C2-50t-3T6,H2F-C2-30t-3T6,H2F-C2-20t-3T6,H2F-C2-10t-3T6
H2F-C2-5t-3T6,H2F-C2-3t-3T6,H2F-C2-2t-3T6,H2F-C2-1t-3T6
H2D4-C3-5t-5B6 0.5/1/2/5/10/20t
H2D-C3-10t-5B 5/10/20t
双剪切梁式称重传感器:
HM9A-C3-10t-12B,HM9A-C3-20t-12B,HM9A-C3-25t-12B,HM9A-C3-30t-16B
HM9A-C3-40t-16B,HM9A-C3-50t-16B,HM9A-C3-40tSE-16B
HM9B-C3-10t-12B,HM9B-C3-20t-12B,HM9B-C3-25t-12B,HM9B-C3-30t-16B
HM9B-C3-40t-16B,HM9B-C3-50t-16B,HM9B-C3-40tSE-16B
柱式称重传感器:
BM14A-C3-10t-13B6,BM14A-C3-25t-13B6,BM14A-C3-40t-13B6
BM14A-C3-60t-13B6,BM14A-C3-100t-13B6
HM14C-C3-10t-13B6,HM14C-C3-20t-13B6,HM14C-C3-25t-13B6
HM14C-C3-30t-13B6,HM14C-C3-50t-13B6
BM14G-C3-10T-15B-SC,BM14G-C3-20T-15B-SC,BM14G-C3-30T-15B-SC
BM14G-C3-40T-15B-SC,BM14G-C3-50T-15B-SC
我公司还经营有其他产品;
高温 CA-YD-112A、CA-YD-112G、CA-YD-136
标准、高稳定性 CA-YD-122、CA-YD-122B、CA-YD-113
状态监测型 CA-YD-104T、CA-YD-169
通用IEPE CA-YD-180、CA-YD-181、CA-YD-182、CA-YD-185、CA-YD-186、CA-YD-188、CA-YD-189、CA-YD-191、CA-YD-1160、CA-YD-1181、CA-YD-1182
三向IEPE CA-YD-152、CA-YD-153、CA-YD-193
隔离输出、状态监测IEPE型 CA-YD-159A、CA-YD-185T、CA-YD-186G、CA-YD-188G、CA-YD-188GF、CA-YD-100
直流电压供电的IC加速度传感器 CA-YD-135、CA-YD-151S、CA-YD-166、CA-YD-168、CA-YD-168TE
电容式加速度传感器 CA-DR-1001、CA-DR-1005、CA-DR-1050、CA-DR-3001、CA-DR-3003、CA-DR-3050
加速度/温度复合型,监测 CA-YD-142、CA-YD-170
压电式速度传感器 CS-YD-002、CS-YD-004、CS-YD-005、CS-YD-012、CS-YD-022
磁电式速度传感器 CS-CD-001、CS-CD-010
位移传感器---非接触式电涡流(带前置器)CWY-DO-501、CWY-DO-502、CWY-DO-504、CWY-DO-510、CWY-DO-525
电荷输出型力传感器 CL-YD-301 CL-YD-303 CL-YD-305、CL-YD-311A、CL-YD-312A、CL-YD-320、CL-YD-360
双向拉压,电荷输出型 CL-YD-311、CL-YD-312
三向、电荷输出型 CL-YD-3301、CL-YD-3302、CL-YD-3310
阻抗头 CL-YD-331
冲击力锤 LC-01A、LC-02A、LC-04A
压电式压力传感器 CY-YD-200A、CY-YD-202、CY-YD-203、CY-YD-205、CY-YD-211、CY-YD-211A、CY-YD-212、CY-YD-214
变式(量程可定制)压力传感器 CY-YB-016、CY-YB-200、CY-YB-500
电荷放大器 YE5850、YE5851A、YE5851B、YE5851D、YE5852、YE5852B、YE5853、YE5854A、YE5855、YE5856、YE5858
微型阻抗变换 YE5857A、YE5857B
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