详细介绍:
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定义
位移传感器又称为线性传感器,它分为电感式位移传感器,电容式位移传感器,光电式位移传感器,位移传感器超声波式位移3056B3传感器,霍尔式位移传感器。
电感式位移传感器是一种属于金属感应的线性器件,接通电源后,在开关的感应面将产生一个交变磁场,当金属物体接近此感应面时,金属中则产生涡流而吸取了振荡器的能量,使振荡器输出幅度线性衰减,然后根据衰减量的变化来完成无接触检测物体的目的。
分类
按运动分类型
直线位移传感器和角度位移传感器
按材料分类
金属膜位移传感器 b.导电位移传感器 c.光电式位移传感器 d.磁敏式位移传感器 e.金属玻璃铀传感器 f.绕线式位移传感器 g.电位器位移传感器
广义分类
A 机械式
1)模拟式 电位器式,电阻应变式,电容式,螺旋管电感式,差动变压式,涡流式,光电式,霍尔器件式,微波式,超声波式
2)数字式 光栅式和磁栅式
B 接近式 电容式,涡流式,霍尔效应式,光电式,热释电式,多普勒式,电磁感应式,微波式,超声波式
C 转速式 一般有光电式
D 多普勒式
E 液位式 浮子式,平衡浮筒式,压差电容式,导电式,超声波式,放射式
F流量及流量式 电磁式,涡流式,超声波式,热导式,激光式,光纤式,浮子式,涡轮式,空间滤波式
G 激光位移式
数字激光位移传感器
激光位移传感器可精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化,主要应用于检测物的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。
按照测量原理,激光位移传感器原理分为激光三角测量法和激光回波分析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量,而激光回波分析法则用于远距离测量。
激光三角测量法原理
激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面,体反射激光通过接收器镜头,被内部的CCD线性相机接收,根据不同的距离,CCD线性相机可以在不同的角度下“看见”这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离,数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。同时,光束在接收元件的位置通过模拟和数字电路处理,并通过微处理器分析,计算出相应的输出值,并在用户设定的模拟量窗口内,按比例输出标准数据信号。如果使用开关量输出,则在设定的窗口内导通,窗口之外截止。另外,模拟量与开关量输出可独立设置检测窗口。
传感器的发展历程
微机械加工技术
半导体技术中的加工方法有氧化、光刻、扩散、沉积、平面电子工艺,各向导性腐蚀及蒸镀,溅射薄膜等,这些都已引进到传感器制造。因而产生了各种新型传感器,如利用半导体技术制造出硅微传感器,利用薄膜工艺制造出快速响应的气敏、湿敏传感器,利用溅射薄膜工艺制压力传感器等。日本横河公司利用各向导性腐蚀技术进行高精度三维加工,制成全硅谐振式压力
传感器。核心部分由感压硅膜片和硅膜片上面制作的两个谐振梁结成,两个谐振梁的频差对应不同的压力,用频率差的方法测压力,可消除环境温度等因素带来的误差。当环境温度变化时,两个谐振梁频率和幅度变化相同,将两个频率差后,其相同变化量就能够相互抵消。其测量最高精度可达0.01%FS。美国SiliconMicrostructureInc.(SMI)公司开发一系列低价位,线性度在0.1%到0.65%范围内的硅微压力传感器,最低满量程为0.15psi(1KPa),其以硅为料制成,具有独特的三维结构,轻细微机械加工,和多次蚀刻制成惠斯登电桥于硅膜片上,当硅片上方受力时,其产生变形,电阻产生压阻效应而失去电桥平衡,输出与压力成比例的电信号.象这样的硅微传感器是当今传感器发展的前沿技术,其基本特点是敏感元件体积为微米量级,是传统传感器的几十、几百分之一。在工业控制、航空航天领域、生物医学等方面有重要的作用,如飞机上利用可减轻飞机重量,减少能源。另一特点是能敏感微小被测量,可制成血压压力传感器。中国航空总公司北京测控技术研究所,研制的CYJ 系列溅谢膜压力传感器是采用离子溅射工艺加工成金属应变计,它克服了非金属式应变计易受温度影响的不足,传感器3056B3具有高稳定性,适用于各种场合,被测介质范围宽,还克服了传统粘贴式带来的精度低、迟滞大、蠕变等缺点,具有精度高、可靠性高、体积小的特点,广泛用于航空、石油、化工、医疗等领域。
美国Dytran压电式力传感器
1022V 1050C 1050V1 1050V2 1050V3 1050V4 1050V5 1050V6
1051C 1051V1 1051V2 1051V3 1051V4 1051V5 1051V6 1053V1
1053V2 1053V3 1053V4 1053V5 1060V3 1060V4 1060V5 1060V6
1053V6 1060C 1060V1 1060V2 1061V4 1061V5 1061V6 1203V1
1061C 1061V1 1061V2 1061V3 1203V2 1203V3 1203V4 1203V5
1210C1 1210C2 1210C3 1210C4 1210C5 1210C6 1210C7
美国Dytran压电式压力传感器
2005V 2006V1 2006V2 2006V3 2200C2 2200C4 2200C5 2200C6
2011V 2013D 2180C 2200C1 2200V1 2300C1 2300C2 2300C3
2300C4 2300C7 2300V1 2300V3 2301B1 2301B3 2301B4 2301B5
2300V4 2300V5 2300V6 2300V7 2301B6 2301B7 2301C1 2301C2
2301C3 2301C4 2301C5 2301C6 2301C7
数字激光位移传感器:
激光位移传感器可精确非接触测量被测物体的位置、位移等变化,主要应用于检测物的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。
按照测量原理,激光位移传感器原理分为激光三角测量法和激光回波分析法,激光三角测量法一般适用于高精度、短距离的测量,而激光回波分析法则用于远距离测量。
激光发射器通过镜头将可见红色激光射向被测物体表面,经物体反射的激光通过接收器镜头,被内部的CCD线性相机接收,根据不同的距离,CCD线性相机可以在不同的角度下“看见”这个光点。根据这个角度及已知的激光和相机之间的距离,数字信号处理器就能计算出传感器和被测物体之间的距离。同时,光束在接收元件的位置通过模拟和数字电路处理,并通过微处理器分析,计算出相应的输出值,并在用户设定的模拟量窗口内,按比例输出标准数据信号。如果使用开关量输出,则在设定的窗口内导通,窗口之外截止。另外,模拟量与开关量输出可独立设置检测窗口。
激光位移传感器采用回波分析原理来测量距离以达到一定程度的精度。传感器内部是由处理器单元、回波处理单元、激光发射器、3056B3激光接收器等部分组成。激光位移传感器通过激光发射器每秒发射一百万个激光脉冲到检测物并返回至接收器,处理器计算激光脉冲遇到检测物并返回至接收器所需的时间,以此计算出距离值,该输出值是将上千次的测量结果进行的平均输出。激光回波分析法适合于长距离检测,但测量精度相对于激光三角测量法要低。
位移的检测
测量位移的传感器主要有脉冲编码器和磁致位移传感器。
脉冲编码器是一种角位移传感器,能够把机械转角变成电脉冲。在小浪底电厂中,编码器应用于进水口闸门、尾水防淤闸门位移的检测。
小浪底筒阀位移的测量采用了磁致位移传感器。由于筒阀安装环境恶劣、同时要求较高的精度,因此采用磁致位移传感器。磁致位移传感器在工作时,由电子仓内电子电路产生一起始脉冲,此起始脉冲在波导丝中传输,同时产生一沿波导丝方向前进的旋转磁场,当这个磁场与磁环或浮球中的永久磁场相遇时,产生磁致 伸缩效应,使波导丝发生扭动,这一扭动被安装在电子仓内的拾能机构所感知并转换成相应的电流脉冲,通过电子电路计算出两个脉冲之间的时间差,即可精确测出被测的位移和液位。
磁致位移3056B3传感器的输出信号是一个真正的绝对位置输出,而不是比例的或需要再放大处理的信号,所以不存在信号漂移或变值的情况,因此不必像其它液位传感器一样需要定期重标和维护。但磁致位移传感器需要一定的硬件和软件支持。
位置的检测
位置传感器用来检测位置,反映某种状态的开关。常见的位置传感器主要有水浮子开关、磁浮子液位计、行程开关等。
水浮子开关是一种结构简单,使用安装方便的液位控制器。在小浪底顶盖排水控制回路中得到了应用。当水位高于浮子的安装位置时,浮子翻转,接点就会动作,将信号发送到相应的控制回路。但在实际应用中,经常由于浮子的密封度不好进水,导致接点不能正常动作或是动作后不能返回。
小浪底电厂压油罐油位的测量采用磁浮子液位计,它是以浮球为测量元件,通过连杆上的磁刚将液位变化进行传送。液位计配有液位报警器和液位远传装置。液位报警器可实现液位的上、下极限报警及限位控制。液位远传装置可将液位变化转换成4-20mA电流信号,由于采用不锈刚等防腐材料,应用于腐蚀、有毒、易燃等场合。
行程开关是一种接触式位置3056B3传感器,其结构简单、动作可靠、价格低廉。当某个物体在运动过程中,碰到行程开关时,其内部接点就会动作从而完成控制。在小浪底水电厂中,发电机风闸位置、水轮机导叶锁锭位置均采用了行程开关。在实际应用中,行程开关由于不断地受到外力的作用,其整体就会发生位移从而不能 正确地反应物体的位置,这点要引起注意。
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