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位移传感器
位移传感器又称为线性传感器，它分为电感式位移传感器，电容式位移传感器，光电式位移传感器，超声波式MD5/500AGRA位移传感器，霍尔式位移传感器。
电感式MD5/500AG位移传感器是一种属于金属感应的线性器件，接通电源后，在开关的感应面将产生一个交变磁场，当金属物体接近此感应面时，金属中则产生涡流而吸取了振荡器的能量，使振荡器输出幅度线性衰减，GT500Z然后根据衰减量的变化来完成无接触检测物体的目的。
电感式位移传感器具有无滑动触点，工作时不受灰尘等非金属因素的影响，并且低功耗，长寿命，可使用在各种恶劣条件下。MD5/500AG位移传感器主要应用在自动化装备生产线对模拟量的智能控制。
位移是和物体的位置在运动过程中的移动有关的量，位移的测量方式所涉及的范围是相当广泛的。小位移通常用应变式、电感式、差动变压器式、涡流式、霍尔传感器来检测，大的位移常用感应同步器、光栅、容栅、磁栅等MD5/500AGRA传感技术来测量。其中光栅传感器因具有易实现数字化、精度高（目前分辨率最高的可达到纳米级）、抗干扰能力强、GT500Z没有人为读数误差、安装方便、使用可靠等优点，在机床加工、检测仪表等行业中得到日益广泛的应用。
原理
计量光栅是利用光栅的莫尔条纹现象来测量位移的。“莫尔”原出于法文Moire，意思是水波纹。几百年前法国丝绸工人发现，当两层薄丝绸叠在一起时，将产生水波纹状花样；如果薄绸子相对运动，则花样也跟着移动，这种奇怪的花纹就是莫尔条纹。一般来说，只要是有一定周期的曲线簇重叠起来，便会产生莫尔条纹。计量光栅在实际应用上有透射光栅和反射光栅两种；按其作用原理又可分为辐射光栅和相位光栅；按其用途可分为直线光栅和圆光栅。下面以透射光栅为例加以讨论。 透射光栅尺上均匀地刻有平行的刻线即栅线，a为刻线宽，b为两刻线之间缝宽，W=a+b称为光栅栅距。目前国内常用的光栅每毫米刻成10、25、50、100、250条等线条。光栅的横向莫尔条纹测位移，需要两块光栅。一块光栅称为主光栅，它的大小与测量范围相一致；另一块是很小的一块，称为指示光栅。为了测量位移，必须在主光栅侧加光源，在指示光栅侧加光电接收元件。当主光栅和指示光栅相对移动时，由于光栅的遮光作用而使莫尔条纹移动，固定在指示光栅侧的光电元件，将光强变化转换成电信号。MD5/500AGRA由于光源的大小有限及光栅的衍射作用，GT500Z使得信号为脉动信号。如图 1，此信号是一直流信号和近视正弦的周期信号的叠加，周期信号是位移x的函数。每当变化一个光栅栅距W，信号就变化一个周期，信号由b点变化到b’点。由于bb’=W，故b’点的状态与b点状态完全一样，只是在相位上增加了2π。
ACT500 ACT1000 ACT2000 ACT3000
ACT4000 ACT6000 ACT8000 ACT500C
ACT1000C ACT2000C ACT3000C ACT4000C
ACT6000C ACT8000C ACT10000C ACT15000C ACT18500C
ACT500A ACT1000A ACT2000A ACT3000A；
DCTH100 DCTH200 DCTH300 DCTH400
DCTH500 DCTH1000 DCTH2000 DCTH3000 DCTH4000
DCTH6000 DCTH8000 DCTH500C DCTH1000C
DCTH2000C DCTH3000C DCTH4000C DCTH6000C
DCTH8000C DCTH10000C DCTH15000C
DCTH18500C DCTH100AG DCTH200AG
DCTH300AG DCTH400AG DCTH500A DCTH1000A DCTH2000A DCTH3000A Standard TM0627 TM0321A/B
S+B PL 310-10K/M ABS486
PARKER AM1C-35
REXTOTH MUR R900999010
TOX ZHW Communication box
ZIMMER RBPS 2500
WIKA PSD-30 0-250bar P#13233972 S#0012613M1G
SUMUKE H44W-16P DN100/16K
LOHSE A810205
ASM WS12-3000+740-420T-L10
HYDAC ENS3118-5-0520-000-P
K+N LW5-15C0071/1
VICKERS CBV1-10-S-O-A-50/36
MIDWEST 109-UE-12-FTU-0 0-100Kpa
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REXROTH KKDER1DA/HCG24N9K4
ELCOM 01667-06509-PF-b
压电式传感器的敏感芯体材料和结构形式
压电材料
压电材料一般可以分为两大类，即压电晶体和压电陶瓷。在压电型加速度计的最常用的压电晶体为石英，其特点为工作温度范围宽，MD5/500AG性能稳定，因此在实际应用中经常被用作标准传感器的压电材料。由于石英的压电系数比其他压电材料低得多，因此对通用型压电加速度计而言更为常用的压电材料为压电陶瓷。压电陶瓷中锆钛酸铅（PZT）是目前压电加速度计中最经常使用的压电材料。其特点为具有较高的压电系数和居里点，各项机电参数随温度时间等外界条件的变化相对较小。必须指出的是，就同一品种的压电陶瓷而言，GT500Z虽然都有相同的基本特性，但由于制作工艺不同可以使两个相同材料的压电陶瓷的具体性能指标相差甚大。这种现象可以通过典型的国产传感器和进口传感器的比较得以反映，国内振动测试业几十年的经验对此深有体会。
MD5/500AGRA传感器敏感芯体的结构形式
压电加速度传感器的敏感芯体一般由压电材料和附加质量块组成，当质量块受到加速度作用后便转换成一个与加速度成正比并加载到压电材料上的力，而压电材料受力后在其表面产生一个与加速度成正比的电荷信号。压电材料的特性决定了作用力可以是受正应力也可以是剪应力，压电材料产生的电荷大小随作用力的方向以及电荷引出表面的位置而变。根据压电材料不同的受力方法，常用传感器敏感芯体的结构一般有以下三种形式：
１）压缩形式– 压电材料受到压缩或拉伸力而产生电荷的结构形式。压缩式敏感芯体是加速度传感器中最为传统的结构形式。其特点是制造简单方便，能产生较高的自振谐振频率和较宽的频率测量范围。而最大的缺点是不能有效地排除各种GT500Z干扰对测量信号的影响。
２）剪切形式– 通过对压电材料施加剪切力而产生电荷的结构形式。从理论上分析在剪切力作用下压电材料产生的电荷信号受外界干扰的影响甚小，MD5/500AGRA因此剪切结构形式成为最为广泛使用的加速度传感器敏感芯体。然而在实际制造过程中，确保剪切敏感芯体的加速度计持有较高和稳定的频率测量范围却是MD5/500AG传感器制造中工艺中最为困难的一个环节。北智BW-Sensor 采用进口记忆金属材料的紧固件从而保证传感器具有稳定可靠的谐振频率和频率测量范围。
３）弯曲变形梁形式- 压电材料受到弯曲变形而产生电荷的结构形式。弯曲变形梁结构可产生比较大的电荷输出信号，也较容易实现控制阻尼；但因为其测量频率范围低，更由于此结构不能排除因温度变化而极容易产生的信号漂移，所以此结构在压电型加速度计的设计中很少被采用。
发电机摆度和振动的检测
电涡流传感器用来检测水轮发电机组上导、下导、水导、大轴的摆度，MD5/500AG它实际上是一种位移传感器，依靠探头线圈产生的高频电磁场在被测表面感应出电涡流和由此引起的线圈阻抗的变化来反映探头与被测表面的距离。
检测水轮发电机组的上机架、下机架、定子铁芯、定子机座以及顶盖和尾水管振动的传感器是一种速度MD5/500AGRA传感器。常用的速度传感器为具有弹簧-质量系统的 磁电式传感器，它测量是被测物相对于地面的绝对运动。
振动GT500Z和摆度的测量在小浪底水电厂中得到充分的应用，测量摆度有被测物X方向和Y方向，测量振动有被测物轴向和径向振动。通过采集水轮发电机组摆度 MD5/500AG和振动的数据可以检测顶盖和尾水管中的压力脉动、机组转动部分的机械不平衡度以及转子中心与机组中心是否偏移而引起电磁力不平衡等，从而机组在转动过程中的健康状态通过振动和摆度的测量得到充分的体现。MD5/500AGRA随着科学技术的发展，现在振动、摆度的检测是水电厂状态检修中GT500Z重要组成部分。通过机组的状态检修大大提高 了机组的使用效率。
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