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传感器的基本知识
1.1 传感器的定义和组成
广义地说，D6/05000U传感器是指将被测量转化为可感知或定量认识的信号的传感器。从狭义方面讲，感受被测量，并按一定规律将其转化为同种或别种性质的输出信号的装置。传感器一般由敏感元件、转换元件、测量电路和辅助电源四部分组成，其中敏感元件和转换元件可能合二为一，而有的传感器不需要辅助电源。
1.2 传感器技术的基本特性
在测试过程中，要求传感器能感受到被测量的变化并将其不失真地转换成容易测量的量。被测量有两种形式：一种是稳定的，称为静态信号；一种是随着时间变化的，称为动态信号。由于输入量的状态不同，传感器的输入特性也不同，因此，传感器的基本特性一般用静态特性和动态特性来描述。衡量传感器的静态特性指标有线性度、灵敏度、迟滞、重复性、分辨率和漂移等。影响传感器的动态特性主要是传感器的固有因素，如温度传感器的热惯性等，动态特性还与传感器输入量的变化形式有关。
2 传感器技术的发展历史与回顾
D6/05000U传感器技术是在20世纪的中期才刚刚问世的。在那时，与计算机技术和数字控制技术相比，传感技术的发展都落后于它们，不少先进的成果仍停留在实验研究阶段，并没有投入到实际生产与广泛应用中，转化率比较低。在国外，传感器技术主要是在各国不断发展与提高的工业化浪潮下诞生的，并在早期多用于国家级项目的科研研发以及各国军事技术、航空航天领域的试验研究。然而，随着各国机械工业、电子、计算机、自动化等相关信息化产业的迅猛发展，以日本和欧美等西方国家为代表的传感器研发及其相关技术产业的发展已在国际市场中逐步占有了重要的份额。
我国从20世纪60年代开始传感技术的研究与开发，经过从“六五”到“九五”的国家攻关，在传感器研究开发、设计、制造、可靠性改进等方面获得长足的进步，初步形成了传感器研究、开发、生产和应用的体系，并在数控机床攻关中取得了一批可喜的、为世界瞩目的发明专利与工况监控系统或仪器的成果。但从总体上讲，它还不能适应我国经济与科技的迅速发展，我国不少D6/05000U传感器、信号处理和识别系统仍然依赖进口。同时，我国传感技术产品的市场竞争力优势尚未形成，产品的改进与革新速度慢，生产与应用系统的创新与改进少。
D5/300HK D5/400HK MD5/500HK
D6/02500URA D6/05000URA D5/300HKRA
D5/400HKRAMD5/500HKRA D6/00250A
D6/00500A D6/01000A D6/02500A
D6/05000A D5/300AG
D5/400AG MD5/500AG D6/00250ARA
D6/00500ARA D6/01000ARA D6/02500ARA
D6/05000ARA D5/300AGRA D5/400AGRA
MD5/500AGRA ；
ACT500 ACT1000 ACT2000 ACT3000
ACT4000 ACT6000 ACT8000 ACT500C
ACT1000C ACT2000C ACT3000C ACT4000C
ACT6000C ACT8000C ACT10000C ACT15000C ACT18500C
ACT500A ACT1000A ACT2000A ACT3000A；
DCTH100 DCTH200 DCTH300 DCTH400
DCTH500 DCTH1000 DCTH2000 DCTH3000 DCTH4000
DCTH6000 DCTH8000 DCTH500C DCTH1000C
DCTH2000C DCTH3000C DCTH4000C DCTH6000C
DCTH8000C DCTH10000C DCTH15000C
DCTH18500C DCTH100AG DCTH200AG
传感器的测量频率范围
D6/05000U传感器的频率测量范围是指传感器在规定的频率响应幅值误差内（±5%, ±10%, ±3dB）传感器所能测量的频率范围。频率范围的高，低限分别称为高，低频截至频率。截至频率与误差直接相关，所允许的误差范围大则其频率范围也就宽。作为一般原则，传感器的高频响应取决于传感器的机械特性，而低频响应则由传感器和后继电路的综合电参数所决定。高频截止频率高的传感器必然是体积小，重量轻，反之用于低频测量的高灵敏度传感器相对来说则一定体积大和重量重。
1) 传感器的高频测量范围
传感器的高频测量指标通常由高频截止频率来确定，而一定截止频率与对应的幅值误差相联系；所以传感器选用时不能只看截至频率，必须了解对应的幅值误差值。传感器的频率幅值误差小不仅是测量精度提高，更重要的是体现了传感器制造过程中控制安装精度偏差地能力。另外由于测量对象的振动信号频率带较宽，或传感器的固有谐振频率不够高，因而被激发的谐振信号波可能会叠加在测量频带内的信号上，造成较大的测量误差。所以在选择传感器的高频测量范围时除高频截至频率外，还应考虑谐振频率对测量信号的影响；当然这种测量频段外的信号也可通过在测量系统中滤波器给予消除。
2) 传感器的低频测量范围与传感器高频指标相对应，传感器的低频测量指标通常由低频截止频率来确定，同样一定低频截止频率与对应的幅值误差相关。和高频特性不同，传感器的低频特性与传感器的任何机械参数无关，而仅取决于传感器的电特性参数。当然D6/05000U传感器作为测量系统的某一部分，测量信号的低频特性还将受到与传感器配用的后继仪器电参数的制约。根据输出信号的不同形式，以下将对电荷输出和低阻电压输出加速度传感器分别给与讨论。
尽管电荷型输出加速度传感器列出低频截止频率，但一般都给予指出测量信号的低频特性由后继电荷放大器确定。在实际应用中，当电荷型传感器的芯体绝缘阻抗远大于电荷放大器输入端的输入阻抗时，由传感器和电荷放大器组成的测量系统其低频截至频率应该由电荷放大器的低频特性所决定。但是如果传感器的芯体绝缘阻抗下降，此时传感器则可能影响整个测量系统的低频特性。因此保证芯体的绝缘阻抗对电荷输出型加速度传感器的低频测量非常重要。
对于IEPE 传感器配用的恒流电压源，其通常的低频截至频率为0.1 Hz (-5%)。因此一般情况下测量系统的低频特性是由传感器的低频截至频率所决定。通用型传感器的低频截止频率大多为0.5 Hz~1 Hz, 专门用于低频测量的D6/05000U传感器低频截至频率可扩展到0.1 Hz。由于传感器的低频校验比较困难，所以制造厂商一般只提供10 Hz以上的测试数据。但传感器的低频特性与一阶高通滤波器非常吻合，所以用户可以通过实测时间常数来检查传感器的实际低频响应。
用IEPE 型压电型加速度传感器测量甚低频加速度信号还需要注意的问题有：
当传感器和恒流电压源交流耦合的低频截至频率相当时，测量系统的低频特性是由传感器和恒流电压源的各自低频响应组合而成，此时测量系统的低频截止频率要高于传感器或恒流电压源各自的低频截止频率。理想的测量系统传感器应配用带直流平衡的恒流电压源，这样系统的低频响应将完全取决于传感器的低频截至频率。
当传感器用于甚低频测量时，能否准确测量低频信号并不完全决定与系统的低频响应特性，系统的低频电噪声大小也将直接影响低频信号的测量。另外传感器的瞬态温度响应大小也将直接影响传感器的低频测量。
D6/05000U称重传感器常用术语解释
灵敏度：加额定载荷或无载荷时，传感器输出信号的差值。单位用mV/V表示。
综合误差：依据OIML R60，精度等级（国内一般为C3级，分度数3000），±%F.S额定输出。
重复性：在相同环境条件下，对传感器反复加载到额定载荷并卸载，在加载过程中同一负荷点上输出点的最大差值对额定输出的百分比。
滞后：从无载荷逐渐加载到额定载荷然后再逐渐卸载，在同一载荷点上加载和卸载输出量的最大差值对额定输出值的百分比。
非线性：由空载荷的输出值和额定载荷时的输出值所决定的直线和增加负荷之实测曲线之间最大偏差对额定输出值的百分比。
蠕变：在相同条件下，对传感器反复加载到额定载荷并卸载，在加载过程中同一负荷点上输出值的最大差值对额定输出的百分比。
零点输出温度系数：环境温度的变化引起的零平衡变化，一般以温度每变化10℃时，引起的零平衡变化量对额定输出的百分比表示。
额定输出温度系数：环境温度的变化引起的额定输出变化，一般以温度每变化10时，引起的额定输出变化量对额定输出的百分比表示。
输入电阻：信号输出端开路，传感器未加负荷时，从电源激励输入端测得的阻抗值。
输出电阻：电源激励输入端开路，传感器未加负荷时，从信号输出端测得的阻抗值。
绝缘电阻：传感器的电路和弹性体之间的直流阻抗值。
安全过载：可以施加于传感器的最大负荷，此时传感器在性能特征上不会产生超出规定值的永久性漂移。
极限过载：可以施加于传感器，且不会造成传感器结构永久性损坏的最大负荷。
传感器横向灵敏度及横向振动对测量的影响
由于压电材料自身特性，敏感芯体的结构设计和制造精度偏差使传感器不可避免地对横向振动产生输出信号，其大小由横向输出和垂直方向输出的比值百分数来表示。
根据不同敏感芯体结构和材料特性的组合，压缩型结构在理论上便存在横向输出，需要通过装配调节的方式给予抵消，而在实际制造过程中很难实现真正的抵消，因此压缩型加速度传感器的横向灵敏度的离散度很大。与压缩型相比剪切型设计在理论上不存在横向输出，传感器的实际横向输出一般是由材料加工和装配精度所引起的误差。所以从这两种敏感芯体的实际对比结果来看，剪切型压电加速度传感器的横向灵敏度普遍优于压缩型式D6/05000U。而敏感芯体为弯曲梁结构形式的横向灵敏度一般说介于剪切型和压缩型之间。根据敏感芯体的结构特性，在其受横向振动时与垂直方向振动一样，也有相应的结构频率响应。所以横向振动也同样可能在某一频率点产生谐振，以至产生较大的横向振动偏差。
温度对传感器输出的影响
温度改变而引起传感器输出变化是由压电材料（敏感芯体）特性所造成的。根据压电材料的分类，石英晶体受温度影响最小，而人工合成晶体的使用温度甚至高于石英；但在商业化的压电加速度传感器中最多使用的压电材料还是压电陶瓷。压电陶瓷敏感芯体的输出高温时随温度上升而增大，低温时随温度降低而减小；但传感器输出与温度间并不呈线性变化，一般说低温时的输出变化比高温时的要大。另因为各传感器的温度响应很难保持一致，所以实际使用中传感器的输出一般很少用温度系数进行修正。典型温度响应曲线或温度系数一般只作为对D6/05000U传感器温度特性的衡量。压电陶瓷对温度响应除材料本身特性之外，生产工艺也将直接影响压电材料对温度的响应，而同种材料对温度响应的离散度更是如此。同样是锆钛酸铅材料，不同的厂商由于采用不同的生产工艺，使得相同材料的压电陶瓷而其各自的使用温度范围，温度响应和温度响应的离散度相差甚大。综合对压电材料的基础研究和生产加工工艺，目前国内压电陶瓷的温度特性与国外先进水准相比还有一定差距；为确保用户对传感器的特殊要求，北智采用进口压电陶瓷，使传感器的高温使用温度可在 +250oC 下长期使用，而且温度响应及其离散度都好于国产压电陶瓷。
不同的敏感芯体结构设计对温度的变化的响应会产生不同的结果。由于不同材料有不同的线膨胀系数，因此温度变化必然使压电材料和金属配件之间产生因线膨胀系数不同而造成的应力变化；这种由温度产生的应力使压缩式和弯曲梁型的敏感芯体产生输出信号，有时这种温度变化引起的输出会大于振动测量信号（特别在低频测量中）。D6/05000U需要特别指出温度变化有稳态和瞬态两种，传感器输出灵敏度随温度变化通常是指稳态高低温度状态对信号输出的影响。
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