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特徴
信号波長250ｎｍの高精度反射型レーザスケール。薄型ステージ?半導体後工程機器?精密顕微鏡に最適。

信号波長:250nm
高精度:±1μｍ/420mm
高速応答:700mm/s
最高分解能:0.0625nm
ラインナップ:原点付、原点無し
完全非接触:原理的に戻り誤差がありません。
スケール部:青板ガラス?低膨張ガラス
厚み:12mmの薄型ヘッド
各種分解能、出力形式に対応(BD96等インターポレータによる)
真空?非磁性対応（特殊仕様品）