系统介绍
整体系统主要由真空箱系统、充氦回收系统、抽真空系统、清氦系统、补氦系统、气动传动系统、流水线传输系统、电器控制系统、氦质谱检漏仪等组成。
性能特点
高灵敏度
● 检漏精度极高，可达5×10-12Pa.m3/s，R22：0.1克/年。
● 系统自动调零，消除氦本底影响。
高效率
● 干式检漏，检漏后试件无需进行干燥。
● 全自动压力监测，系统自动补充高纯氦气,以满足被测件氦浓度要求。
● 氦气回收率高达98%以上，尽可能减小氦气消耗，帮助我们的客户降低生产成 本。
● 多独立工位和管路设计，各工位独立自动工作，效率高，节奏快，帮助我们的客户在最少的时间内生产最多的产品。
● 真空箱（两箱/三箱）交替工作，大大节约了单件检测时间，提高了检测效率。
高自动化程度
● 各工位全自动运行。
● 可实现工件自动进出真空箱。
● 微电脑控制，全自动检测，排除人为因素的干扰，避免产生误检和漏检。
● 人机交互界面，实时监测及诊断。
● 自动判断，声光提示。
● 输出设备，全数字显示检测结果。
● 稳定可靠，系统采用高端配置，确保性能可靠，自动故障检测。
● 可实现远程监控、统计分析、打印标签等功能。
高密封性能
● 专门设计工装夹具，满足氦检漏工艺的密封要求。
高安全性能
● 氦气示踪、安全环保。
● 系统配置安全光栅，双启动功能，以确保操作人员的人身安全。
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