详细介绍:
此次开发主要解决了在半导体晶圆上形成热电薄膜、触媒膜、电极、配线及加热器的传感器元件制造技术。同时,还提高了传感器的耐用性,降低了生产成本。作为热电转换元件的关键技术,确立了利用溅射蒸镀法形成SiGe膜之后进行热处理的薄膜成形技术。因为SiGe热电转换材料的热电特性高,非常适宜采用半导体工艺。为了使触媒不受大气中水蒸汽的影响而稳定地发挥作用,温度要维持在100℃。作为维持触媒温度的加热器集成技术,采用MEMS技術研制出隔热性很高的微加热器。将热电图、微加热器、触媒3个组成要素集成到了尺寸约为1×2mm2的薄膜上,制成了尺寸为4×4mm2的传感器芯片。
在以陶瓷为支撑材料的铂触媒耐用性试验中,将新开发的微型热电式氢气传感器放置在相对温度约为65%的室温环境中,持续工作了3个月,在此期间对它对100ppm,1000ppm和1%氢气浓度的反应特性进行了测试。结果证实,性能十分稳定。此次采用普通半导体工艺,就将微型传感器集成到了硅底板上,因此该公司认为,将来还可集成处理传感器信号的电子线路,因此便于小型化,以及通过量产降低生产成本,实用潜力很大。
AB 1336-F1-SP15A 模块
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AB 1336F-BRF10-AA-EN-HAS2-L9E 模块
AB 1336F-BRF200-AA-EN-LA2-L6 USPP 1336FBRF200AAENL
AB 1336F-BRF05-AE-EN 模块
AB 1336F-BRF50-AA-EN or AE-EN PLUS II -
AB 1336F-BRF100-AA-EN-HCS2-L6 模块
AB 1336F-BRF100-AA-EN SERIES A SENSORLESS VECTOR
AB 1336F-BRF30-AA-EN-HAS2 模块
AB 1336F-BRF200-AE-ES-HAS2-L5 USPP 1336FBRF200AEESH
AB 1336F-BRF50-AE-EN 传感器
AB 1336F-BRF07-AN-EN USPP 1336FBRF07ANEN
AB 1336F-BRF100-AN-EN 模块
AB 1336F-BRF50-AA-EN AC5HP
AB 1336F-BRF05-AA-EN-HAS1-L6E 模块
AB 1336F-BRF75-AA-EN 1336 PLUS II AC DRIVE
AB 1336F-BRF75-AA-EN-HAS2-L6 模块
AB 1336F-BRF20-AN-EN NSFP A20B-2900-0350 1336FBRF20ANEN
AB 1336F-CWF150-AN-EN 模块
AB 1336F-CWF150-AN-EN15HP 575V
AB 1336F-BRF200-AN-EN-HAS2-LA4-L6模块
AB Servo Frequincy1336F-BRF50-AN-EN 1336FBRF50ANEN
AB 1336F-BRF75-AX-EN-L6 模块
14485 Allen-Bradley 1336F-LA7 Analog B
AB 1336F-CWF20-AN-EN 模块
AB 1336 Plus II 10HP Sensorless Vector1336F-BRF100-AA-EN-HCS2
AB 1336F-BRF100-AA-EN-HASP-L6 模块
AB 1336F-BRF30-AN-EN-L4 USPP 1336FBRF30ANENL4
AB 1336F-B050-AA-EN 传感器
AB 1336F-B100-AA-EN-L6 100HP AC Motor
AB 1336F-CWF75-AN-EN-HASP-L4 模块
AB 1336F-BRF30-AN-EN-L6 VFD480VAC 3HP 1336FBR30ANENL6
AB 1336F-AA3 模块
AB 1336F-C075-AN-EN A20B-2900-0350 VARIABLE AC75HP 5
AB 1336F-C075-AN-EN 模块
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