| 详细介绍： 洛阳晶润镀膜玻璃有限公司的磁控溅射镀膜生产线是1993年从美国AIRCO公司引进的，系统采用的是AB公司的PLC。控制室内的多设点控制器出现了无法给3号靶材加电。
故障分析及处理：(1)现场观察多设点控制器(MSPC)自检过程，没有发现故障。靶材循环水开关、温度保护开关、靶材和电源控制柜的门禁开关等显示正常，说明加电条件已经满足。 6ES7312-5BE03-0AB0
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