过程气体分析仪
过程气体分析仪
产品价格:(人民币)
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    商品详情

      产品简介

      品牌 产地类别 应用领域
      其他品牌进口
      综合

      HPR-30过程气体分析仪(Process Gas Analyser),适用于监测分析残余气体和真空过程。可检测反应室内存在的所有成分,以及系统析出的新组分。

      详情介绍

      HPR-30过程气体分析仪应用:

      · CVD / PECVD / RIE / LPCVD / MOCVD
      · 真空涂覆/ 等离子蚀刻
      · 溅射沉积
      · 污染物研究
      · 基本压力辨别
      · 泄漏探测/ 实质上的泄漏/脱附分析
      · 除气/烘烤/泵效能
      · 反应室/过程气体污染物

      HPR-30过程气体分析仪特点:

      · 简洁的桌上型,移动推车或控制台架结构
      · Direct re-entrant流孔板,差式泵,以达到z适宜的灵敏度
      · 连续取样从1mbar至 10-4mbar.
      · 高灵敏度(至5ppb),质量数至1000amu
      · 软离子化技术,分析复杂有机物,或表观MS研究
      · 稳定性好(24h之上,峰高变化小于±0.5%)
      · MASsoft软件控制,或由局域网进行多个系统控制
      · 气动阀自动控制;出现电力不足或压力过大等不安全状况时可启用手动隔离装置
      · 自动、同时数据取得、分析,实时显示、报警。

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