活泼性/腐蚀性气体分析仪
活泼性/腐蚀性气体分析仪
产品价格:(人民币)
  • 规格:完善
  • 发货地:本地至全国
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    会员级别:试用会员
    认证类型:企业认证
    企业证件:通过认证

    商铺名称:北京英格海德分析技术有限公司

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    商品详情

      产品简介

      品牌 产地类别 应用领域
      其他品牌进口
      综合

      HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪是专为活泼性、腐蚀性气体分析和半导体、真空过程研究而设计的仪器。可快速、定量分析活泼性、腐蚀性气体混合物。

      详情介绍

      HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪应用:


      • 等离子体/反应性离子蚀刻研究
      • CVD / PVD / MOCVD
      • 半导体晶片加工研究
      • 真空、等离子体过程
      • 活性物质定量分析
      • HF,HCl,HBr,CFC 研究

      HPR-80活泼性/腐蚀性气体分析仪特点:


      • 加热的电抛光波纹管,快速偶合连结器
      • 可清除的,带粘性流QIC校正的进样口用于定量分析
      • 高灵敏度至 5 ppb, 质量数为 2500 amu.
      • 进样压力从 1 mtorr 至大气压
      • 电容压力计,压力检测可不受分析物影响
      • 稳定性好 (24h之上,小于峰高±0.5% )
      • 软件 MASsoft 控制
      • 矩阵反演,归一化及单峰参考

       

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