离子蚀刻探针-终点检测仪
离子蚀刻探针-终点检测仪
产品价格:(人民币)
  • 规格:完善
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    商品详情

      产品简介

      品牌 产地类别 应用领域
      其他品牌进口
      能源,电子,航天,汽车,电气

      IMP(Ions Milling Probe)离子蚀刻探针-终点检测仪是自带差式泵的耐用的二次离子质谱仪,*的专业检测终点仪器。用于离子蚀刻控制以及优化工艺。适用于离子刻蚀过程中的二次离子和中性粒子分析。

      详情介绍

      离子蚀刻探针-终点检测仪

      应用:
      · 终点检测
      · 靶的纯度测定
      · 质量控制/SPC
      · 残余气体分析
      特点:
      · 高灵敏度的SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器
      · 离子光学透镜、能量分析器和离子源
      · 真空规和安全互锁装置提供过压保护
      · 软件MASsoft通过RS232、RS485或以太网控制
      · 可编程的DDE,平行数字数据I/O,RS232脚本通讯

       

      应用:
      · 终点检测
      · 靶的纯度测定
      · 质量控制/SPC
      · 残余气体分析
      特点:
      · 高灵敏度的SIMS/MS,带脉冲离子计数检测器
      · 离子光学透镜、能量分析器和离子源
      · 真空规和安全互锁装置提供过压保护
      · 软件MASsoft通过RS232、RS485或以太网控制
      · 可编程的DDE,平行数字数据I/O,RS232脚本通讯

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