商铺名称:上海衡鹏企业发展有限公司
联系人:陈静静(小姐)
联系手机:
固定电话:
企业邮箱:lee.li@hapoin.com
联系地址:上海市徐汇区田州路159号莲花大厦3楼B座
邮编:200233
联系我时,请说是在电子快手网上看到的,谢谢!
产品参数 | |||
---|---|---|---|
品牌 | JEL | ||
品名 | 5轴机械手臂 | ||
英文名 | wafer robot | ||
机械手臂标准臂长 | 210mm | ||
280mm | |||
产地 | 中国 | ||
手臂 | 单臂 | ||
晶圆固定方式 | 真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式 | ||
手臂第3关节中心到达距离 | 553mm | ||
升降轴最大行程 | 300mm / 400mm / 500mm | ||
可搬运质量 | 4kg | ||
使用环境 | 洁净间内的大气环境 | ||
是否进口 | 否 | ||
轴数 | 5 | ||
可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
类型 | 自动 | ||
型号 | GTCR5280-300-AM |
JEL GTCR5280-300-AM
5轴水平多关节型洁净机械手臂
——适用于300mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运
5轴水平多关节型洁净机械手臂GTCR5280-300-AM特点:
可用于300mm半导体晶圆搬送的5轴水平多关节洁净机械手臂GTCR5000系列
单臂双手指结构能够实现和双臂结构同样的功能
适用于300mm半导体生产设备内部,检测设备等的晶圆搬运
机械手臂标准臂长: 210mm, 280mm
机械手臂可以单独对应2个FOUP(210mm臂长)
或者3个FOUP(280mm臂长)
双手指结构能够缩短更换晶圆时的手臂动作时间
适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
配备动作监视器
控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
通过S曲线加减速控制方式以及对运动轨迹的优化
能够高速,高精度地搬运半导体晶圆
晶圆固定方式:真空吸附式,下托式,边缘夹持式,伯努利非接触式
手指材质:CFRP(碳纤维),铝合金,高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类,设备布局等要求提供最优的手指
5轴水平多关节型洁净机械手臂GTCR5280-300-AM基本参数:
使用环境 洁净间内的大气环境
手臂 单臂
到达距离 553mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程 300mm / 400mm / 500mm
可搬运质量 4kg (手臂第3关节处基准)