商铺名称:上海衡鹏企业发展有限公司
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产品参数 | |||
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品牌 | JEL | ||
品名 | 机械手臂 | ||
轴数 | 4轴 | ||
产地 | 中国 | ||
英文名 | wafer robot | ||
晶圆固定方式 | 真空吸附方式 | ||
控制方式 | 不会发生丢步现象 | ||
加工定制 | 否 | ||
使用环境 | 洁净间内的大气环境 | ||
手臂 | 双臂 | ||
到达距离 | 475mm | ||
升降轴最大行程 | 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm | ||
可搬运质量 | 3kg | ||
可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
类型 | 圆柱坐标洁净 | ||
型号 | STCR4160SN-V |
STCR4160SN-V_4轴圆柱坐标洁净机械手臂特点:
适用于超级洁净间要求的4轴圆柱坐标洁净机械手臂
在保持高性价比和高速传输特性的基础上,解决了步进电机常见的丢步问题,适用于减薄晶圆以及晶圆四周边缘区域真空吸附方式的新型双臂机械手臂
采用了不会发生丢步现象的控制方式来控制步进电机
高强度手臂/手臂第3关节处可承受3kg力(包含腕部机构模块,晶圆的质量)
适应设备需求可以选择底座固定方式,或者法兰固定方式
4轴圆柱坐标洁净机械手臂STCR4160SN-V基本参数:
使用环境 洁净间内的大气环境
手臂 双臂
到达距离 475mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程 200mm / 300mm / 400mm / 450mm / 500mm
可搬运质量 3kg (手臂第3关节处基准)