商铺名称:上海衡鹏企业发展有限公司
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邮编:200233
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产品参数 | |||
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品牌 | SINTAIKE | ||
产地 | 中国 | ||
品名 | 晶圆倒片机 | ||
英文名 | Wafer Sorter | ||
晶圆尺寸 | 8寸、12寸 | ||
传输晶圆 | 100~300mm | ||
供应商 | 衡鹏 | ||
晶圆厚度 | 200~1000微米 | ||
体积 | 1360 mm*1530 mm*1820 mm | ||
净重 | <600公斤 | ||
电源电压 | 220V | ||
16A | |||
Robot精度 | ±0.1mm | ||
Aligner精度 | ±0.1mm;±0.1° | ||
可售卖地 | 北京;天津;河北;山西;内蒙古;辽宁;吉林;黑龙江;上海;江苏;浙江;安徽;福建;江西;山东;河南;湖北;湖南;广东;广西;海南;重庆;四川;贵州;云南;西藏;陕西;甘肃;青海;宁夏;新疆 | ||
类型 | 全自动 | ||
型号 | STK-3300 |
晶圆倒片机STK-3300全自动晶圆传片机
——FOUP/4loadport/寻边/Wafer ID读取 STK-3300
晶圆倒片机主要配置:
·双臂robot: 1 set(可根据需求配置不同型号robot);
·真空吸附式陶瓷手指:2 set;
·300mm loadport:2~4 set;
·风机过滤系统(FFU):1 set;
·静电消除器:1 set;
·Aligner:1 set;
·OCR:1 set;
·UPS:选配;
·200/300mm adaptor:选配;
晶圆倒片机STK-3300规格参数:
晶圆直径:12”晶圆(配置adaptor后可适用8寸晶圆);
晶圆厚度:200~1000微米;
晶圆种类:硅, 砷化镓或其它材料;
载具种类:12寸标准FOUP(配置adaptor后可适用8/12寸Open cassette)
Robot精度:±0.1mm;
Aligner精度:±0.1mm;±0.1°;
防静电控制:防静电特氟龙涂层手指 /除静电离子风棒;
控制单元:基于PLC 控制,带10.1”触摸屏;
安全防护:门开关互锁sensor和紧急停机按钮/安全光栅(选配);
电源电压:单相交流电220V,16A;
压缩空气: 5公斤清洁干燥压缩空气,流量100升/分钟;
机器外壳:白色喷塑金属外壳;
体积:1360 毫米(宽)*1530 毫米(深)*1820 毫米(不含灯高);
净重 lt;600公斤;
晶圆倒片机性能:
每小时传片:≥300片(without aligning and OCR);
MTBF gt;1000小时;
MTTR lt;1小时;
停机时间 lt;3;