.jpg "JEL真空机械手3轴圆柱坐标型晶圆搬运机械手臂SVCR3260")
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邮编：200233
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商品详情
| 产品参数 | |||
|---|---|---|---|
| 品牌 | JEL | ||
| 工作范围 | 晶圆搬运 | ||
| 是否进口 | 是 | ||
| 机械手臂标准臂长 | 160mm | ||
| 190mm | |||
| 260mm | |||
| 通讯方式 | RS232C及并口I/O方式 | ||
| 手指材质 | CFRP(碳纤维) | ||
| 铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质 | |||
| 晶圆固定方式 | 下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式 | ||
| 手臂数 | 单臂 | ||
| 到达距离 | 520mm (手臂第3关节中心到达距离) | ||
| 升降轴最大行程 | 20mm / 40mm | ||
| 可搬运质量 | 2kg (手臂第3关节处基准) | ||
| 使用环境 | 真空部：温度 15℃～50℃ | ||
| 数量 | 1 | ||
| 产地 | 日本 | ||
| 可售卖地 | 全国 | ||
| 用途 | 适用于真空腔室内的晶圆搬运 | ||
| 型号 | SVCR3260 | ||
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真空3轴圆柱坐标型机械手臂SVCR3000系。适用于真空腔室内的晶圆搬运
相比SVHR系列机械手臂，可搬运质量提升2倍，具有较好的性价比优势
另外还保持了和SVHR系列机械手臂的兼容性，方便客户对设备进行升级改造
机械手臂标准臂长:160mm, 190mm, 260mm, 330mm
手臂关节处使用磁流体密封装置
真空密封：磁流体密封装置和波纹管
提高洁净度的方法：手臂内部排气口安装5μm级过滤器
配备动作监视器
控制通讯方式：RS232C及并口I/O方式
全轴采用2相步进电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运半导体晶圆
可以选配2相步进电机规格
手指材质：CFRP(碳纤维),铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
晶圆固定方式：下托式，利用晶圆自重的边缘夹持式
可以针对搬运物体，客户设备布局的实际情况提供最优的手指
SVCR3260真空3轴圆柱坐标型机械手臂基本参数：
使用环境
真空部：温度 15℃～50℃
驱动结构内部：洁净间内的大气环境
温度 15℃～40℃
手臂 单臂
到达距离：520mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程 20mm / 40mm
可搬运质量 2kg (手臂第3关节处基准)
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