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产品参数 | |||
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品牌 | JEL | ||
品名 | 晶圆搬运用机器人 | ||
别名 | 水平多关节型洁净机械手臂 | ||
产地 | 中国 | ||
轴数 | 4轴 | ||
使用环境 | 洁净间内的大气环境 | ||
手臂 | 单臂 | ||
到达距离 | 760mm | ||
升降轴最大行程 | 300mm | ||
可搬运重量 | 小于3kg | ||
加工定制 | 否 | ||
英文名 | Single-Arm Clean Robot | ||
固定方式 | 底座固定方式,或法兰固定方式 | ||
可售卖地 | 全国 | ||
类型 | 超洁净间用多轴型 | ||
型号 | GCR4210-300-PM |
晶圆搬运用机器人GCR4210-300-PM
4轴水平多关节型单臂洁净机械手臂特点:
●机械手臂可以单独对应2个FOUP
●可根据设备布局选择底座固定方式,或者法兰固定方式
●配备动作监视器
●控制通讯方式:RS232C及并口I/O方式
4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4210-300-PM 基本参数:
使用环境:洁净间内的大气环境
手臂: 单臂
到达距离:400mm (手臂第三关节中心基准)
升降轴最大行程:300mm
可搬运重量:3Kg以下 (手臂第三关节处基准)