晶圆搬运用机器人GCR4280-300-AM
4轴水平多关节型洁净机械手臂特点：
超洁净间用多轴型, 4轴水平多关节型清洁机械手GCR4000-AM系列
适用于支持300mm的半导体制造装置内, 检查装置等的晶圆搬运
机械手臂可以单独对应3个FOUP
适应设备需求可以选择底座固定方式，或者法兰固定方式
配备动作监视器
全轴采用绝对值编码器规格的AC伺服电机
S曲线加减速控制方式能够高速，高精度地搬运玻璃基板
手指材质：CFRP（碳纤维), 铝合金，高纯度陶瓷等多种可选材质
可以针对被搬运物体种类，设备布局等要求提供最优的手指


产品型号列表
产品型号 升降轴最大行程
GCR4280-300-AM 300mm


4轴水平多关节型洁净机械手臂GCR4280基本参数：
使用环境 洁净间内的大气环境
手臂 单臂
到达距离 553mm (手臂第3关节中心到达距离)
升降轴最大行程 300mm
可搬运质量 小于4kg (手臂第3关节处基准)