2英寸石英晶圆规格书

材质：石英玻璃
直径: 50.8 ± 0.25 mm
厚度: 500 ± 25um
平边长: 16±2.0mm
抛光：双面抛光
正面粗糙度：Ra≤0.5nm
背面粗糙度：Ra≤0.5nm
光洁度：SD 60/40
平行度：≤30"
包装：25片/盒多片盒卡塞装

* 光学石英玻璃（应用波段250-2000nm）采用气炼法工艺，原理是利用氢氧焰将原料天然水晶熔化，在石英玻璃靶面上堆积形成。其特点是化学纯度高可用于电子、半导体工业；羟基-OH 150-400ppm，紫外透过率好，使用较为广泛，紫外及可见光领域的光学零件及透镜都可以使用。
* 电学性质：石英玻璃是一种优良的绝缘材料，在高温下仍能保持很高的介电强度和电阻，而且几乎没有损耗。
* 热学性质：石英玻璃的耐高温性能，远远超过任何一种玻璃，短时间可在1450℃高温下使用，常可在1000℃以上、不透明则在900℃使用。石英玻璃的膨胀系数极小，为平板玻璃的1/14，石英玻璃的比热和导热系数随温度的升高而增大。石英玻璃的粘度随羟基和杂质含量的增加而降低，粘度大，温度范围窄。
* 机械性质：石英玻璃由单组元硅氧四面体组成网络骨架，硅氧键键强很大，结构紧密，机械强度很高，为普通玻璃的2～3倍。
* 光学性质：石英玻璃在紫外到近红外区域内有较高的透过率。