商铺名称:台州市索佳真空镀膜设备有限公司
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型号 | φ1300×1350 |
极限真空度 | 2.8×10-4pa |
恢复真空 | 从大气抽至3×10-3pa≤15min |
基片烘烤 | 采用上烘烤,功率18kw最高温度350℃,两组控温。 |
电阻蒸发电极 | 2对,功率5kw/组,单源交替蒸发 |
电子枪蒸发源 | 2只 功率6kw/只 |
真空系统 | 2-k-600型油扩散泵+ zjp-300型罗茨泵+2x-70型机械泵 |
电源 | 220v/380v 50hz |
总功率 | 40kw |
耗水 | 约30l/min |
气压 | 5~6mpa |