商铺名称:台州市索佳真空镀膜设备有限公司
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设备型号 | sj-1200 | sj1400 | sj-1600 | sj-1800 |
真空室尺寸 | 1200×1500 | 1400×1950 | 1600×2000 | 1800×2000 |
制膜种类 | 多功能金属膜、复合膜、透明导电膜、增返射膜、电磁屏蔽膜、装饰膜等 | |||
电源类型 | 直流磁控电源、中频磁控电源电源、高压离子轰击电源 | |||
圆柱靶 | 直流磁控靶、中频孪生靶、平面靶 | |||
真空室结构 | 立式双开门、立式单开门 | |||
真空系统 | 滑阀泵+罗茨泵+扩散泵+维持泵 | |||
充气系统 | 质量流量控制仪(1-4路) | |||
极限真空 | 6×10-4pa(空载、净室) | |||
抽气时间 | 空载大气抽至5×10-3pa小于15分钟 | |||
工件旋转方式 | 6轴/8轴/9轴公自转/变频无级调速 | |||
控制方式 | 手动+半自动+全自动一体化/触摸屏+plc | |||
备注 | 真空室尺寸可按客户产品及特殊工艺要求订做 |