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光刻胶介绍
光刻胶介绍
光刻胶是一种对光线、温度、湿度十分敏感的材料,光刻胶 美国,可以在光照后发生化学性质的改变,这是整个工艺的基础。
光刻胶有不同的类型,pmma(pmgi)以及dnq(酚醛树脂)等材料都可以做光刻胶。
目前光刻胶市场上的参与者多是来自于美国、日本、韩国等国家,包括futurrex、陶氏化学、杜邦、富士胶片、信越化学、住友化学、lg化学等等,中国公司在光刻胶领域也缺少核心技术。

芯片光刻的流程详解(二)
所谓光刻,光刻胶 半导体,根据维基百科的定义,这是半导体器件制造工艺中的一个重要步骤,该步骤利用曝光和显影在光刻胶层上刻画几何图形结构,然后通过刻蚀工艺将光掩模上的图形转移到所在衬底上。这里所说的衬底不仅包含硅晶圆,还可以是其他金属层、介质层,例如玻璃、sos中的蓝宝石。
光刻的基本原理是利用光致抗蚀剂(或称光刻胶)感光后因光化学反应而形成耐蚀性的特点,将掩模板上的图形刻制到被加工表面上。

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