是否进口否
加工定制是
品牌晨立
型号cl-
产品名称温控系统
适用范围扩散炉
用途半导体行业
产品认证中国半导体
展开
供应扩散炉温控系统改造--青岛晨立053288533525
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温控系统改造
采用plc+pt+温控表方式，温控精度高，方便操作管理工艺流程，手自动切换、数据事件记录、报表打印输出等功能强大，限度减少人为因素对产品质量的影响，提高了产品工艺稳定性

一、管式扩散炉用途
管式扩散炉是我公司根据客户需求个性化专业定制的高温热处理设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件、光导纤维等行业中进行扩散、氧化、退火、合金及烧结等工艺，我公司的高温电炉关键部件全部采用进口部件，仿国外先进热处理制造技术，已经被中科院、国内各大院校、国内多家知名厂家选为长期供货商，专业团队设计制造，可根据客户不同需求定制，厂家直接供货，质优价廉。
二、管式扩散炉特点
◆软着陆载片装置
软着陆送料装置，避免了sic桨的遮挡影响，提高了扩散均匀性，同时桨的清洗周期大幅度延长。
◆高精度温度控制
新型炉体设计，提高了温度稳定性；配合高精度温控仪的使用，保证工艺过程中温度的快速稳定。
◆高性能进口元器件组合
关键件采用进口管件，且为半导体级别；优质的元器件组合，从而保证成膜质量。
三、管式扩散炉主要技术参数
◆工艺管数量：1-4管
◆工艺管口径：φ90-360mm（3～12英寸）
◆工作温度范围：400～1280℃
◆恒温区长度及精度±0.5℃/1080mm
◆工艺均匀性:≤±5％（30~60欧姆）
◆气体流量设定精度:±1％f.s
◆气路系统气密性：1×10-7pa.m3/s
◆超净工作台：净化等级：100级（万级厂房）噪音：≤62db（a）震动：≤3μm
◆控制方式：工业微机控制
◆记录工艺曲线数量及工艺步数不受限制
我公司可根据客户要求，专业定制各式扩散炉、退火炉、烧结炉、真空焊接炉、cvd炉、加热
电炉及加热装置等，欢迎广大客户来电咨询。