RYS-CYG502 微型压力传感器（绝压）操作方法价格

RYS-CYG502 微型压力传感器（绝压）操作方法价格

产品编号：RYS721921

产品简介

RYS-CYG502的压力敏感元件采用进的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有秀的线性精度。离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅-硅直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化，为微型传感器的实现取得关键突破。使用了硅-硅键合技术，改善了热匹配效果，减少了压力带来的零位不稳定性。

产品综述

标准尺寸外径2mm的微型压力传感器CYG502是专为流体力学实验中要求更小安装尺寸的用途而设计的。是目前我公司推出产品中尺寸最小的压力传感器。

CYG502的压力敏感元件采用进的MEMS（Miro Electronic Machinical Systems）技术设计与制造。三维集成、双面加工的硅压阻压力敏感元件具有秀的线性精度。离子注入、精细光刻技术制作的惠斯顿应变电桥的度一致性使其具有很小的温度漂移。采用硅-硅直接键合技术、倒V型槽设计、从而实现了可利用芯片薄膜尺寸的最佳化，为微型传感器的实现取得关键突破。使用了硅-硅键合技术，改善了热匹配效果，减少了压力带来的零位不稳定性。

产品介绍

精度等级

JA：典型值±0.25%FS；最大值±0.5%FS

JB: 典型值±0.1%FS；?? 最大值±0.2%FS

零位输出0±5mV

满量程输出最小值30mV、典型值80mV、? ?最大值130mV

输入输出阻抗最小值3Ω、典型值4.5Ω、最大值6Ω

输入工作电流1mA、1.2mA（恒流电）

补偿温度10℃～70℃（可按用户要求订）

工作温度范围-55℃～+125℃/-40℃～+105℃

存储温度范围-60℃～+130℃

测量介质无腐蚀、不导电、干燥、洁净的气体

过载能力额定量程的200%

加速度灵敏度<0.001%FS/g

外形尺寸直径：2.1mm、2.6mm，长度：18mm、11mm、7mm可选

军品定制

本型号产品承接军品定制

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