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商品详情
产品描述
实现非接触，高速和高精度测量
多用途型， 测量范围从1mm - 60mm。
高测量精度，在全测量范围内达±3um。在窄测量范围内达±(1.5+0.5ΔD)um高测量精度。
高重复精度达±0.36um。
技术参数
测量范围： 1—60mm
分辨率： 0.00005一0.1mm可选
20℃时的直线度*： 宽范围：±3.0um
窄范围：±(1.5+0.5ΔD)um
重复精度(±2σ)： ±0.36um
定位误差**： ±4um
测量区域： 20x60mm
激光波长： 650nm，可见光
扫描速率： 3200 scans/s
激光扫描速度： 452m/s
激光适用标准： IEC，FDA (544-538)，JIS (544-537)
*在测量区域中心
**在测量区域中由于工件定位的变化造成可能的测量错误
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