ALNAIR硅晶圆厚度传感器SIT-200
ALNAIR硅晶圆厚度传感器SIT-200
产品价格:¥1200(人民币)
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    商品详情

      天津瑞利光电科技有限公司优势经销日本ALNAIR硅晶圆厚度传感器

      ? 品牌名称:ALNAIR

      ? 规格型号:SIT-200

      产品介绍

      用于硅晶片的全光学非接触式厚度传感器

      高动态范围,能够测量混乱的表面

      能够在湿蚀刻过程中进行原位测量

      SIT-200使用高速扫频可调激光器(而不是宽带光源)来探测被测晶片。这样就可以对每个波长进行更高功率的测量,从而实现高动态范围。即使在未抛光的晶片上,例如在湿蚀刻期间/之后,也可以进行厚度测量。硅晶圆厚度传感器由准确调谐的波长扫描激光源,聚焦传感器和光接收器(PD)构成。波长扫描光聚焦在目标上,并且在通过传感器后,PD会检测到从目标表面反射回来的干涉图样。

      产品参数

      测量对象:硅片

      可测厚度:10~500n = 3.5)μm

      光源:波长扫描激光源

      1515~1585nm

      光输出功率:0.6,激光等级1 mW

      引导光源:红色LD,激光等级1M

      测量时间:min.20 ms

      重复性:小于0.13σ)μm

      监控输出:干扰信号(电气)

      PC接口:以太网

      电源:AC 100-24050/60 HzV

      尺寸(宽xx深):364 x 147 x 391 mm

      重量:9.0 kg

      天津瑞利光电科技有限公司于2016年成立,坐落于渤海之滨天津,地理位置得天独厚,交通运输便利,进出口贸易发达。凭借着欧洲的采购中心,我们始终为客户提供欧美工业技术、高新科技等发达国原装进口的光电设备、光学仪器、机电设备及配件、电气成套设备、工业自动化控制设备产品,同时拥有多个品牌的授权经销和代理权。

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