商铺名称：西安研硕仪器设备有限公司
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产品放置治具灵活多变，可适应不规则的产品
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电源系统 |
射频电源 |
中频电源 |
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功率 |
0~600W |
0~2000W |
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频率 |
13.56MHz |
40KHz |
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真空系统
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双级旋片泵（油泵） |
60m3/h |
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真空管路 |
全不锈钢管路，以及高强度真空波纹管 |
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材质 |
铝合金（可定制不锈钢腔体） |
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厚度 |
25mm |
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密封性 |
军工级焊接密封 |
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腔体内部尺寸 |
450×450×500mm（宽×高×深） |
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电极板有效尺寸 |
420×411mm（宽×深） |
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可用空间间距 |
22.5mm |
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电极板布置方式 |
水平布置，可活动抽取 |
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工作托盘 |
标配一套，材质可选配(铝材、钢丝网） |
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工作空间 |
8层 |
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气体系统 |
流量范围 |
0~300SCCM |
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工艺气体气路 |
标配两路，可定制 |
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控制系统 |
系统控制 |
PLC |
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交付方式 |
7寸触控屏幕 |
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其它参数 |
外形尺寸 |
900×1750×1000mm（宽×高×深） |
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重量 |
200KG |
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设备外观颜色 |
银灰色 |
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厂务规格要求
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厂务规格要求 |
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交流电源规格 |
电源：AC380V，50/60Hz，5线，50A |
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厂务排气 |
流量：2.0 m3/min |
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厂务工作气体要求 |
流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm2 管径：6×4 mm 材质：PU管 纯度：99.99%以上 |
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厂务压缩空气要求 |
流量：1~10 L/min 压力：3~7 kg/cm2 管径：8×5 mm 材质：PU管 露点：-40℃以下 Particle＞0.3μm：10Pcs/ft3 |
一般规格
|
一般规格 |
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危险标识 |
高压危险标识 |
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使用环境 |
温度：15~30℃ 湿度：30~70% |
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其他注意事项 |
不可有可燃性气体，腐蚀性气体，爆炸或反应性粉尘 气瓶需固定 |
配置清单
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配置清单 |
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序号 |
名称 |
描述说明 |
单位 |
数量 |
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1 |
主机 |
外形尺寸：900×1750×1000mm（宽×高×深） |
台 |
1 |
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2 |
真空腔体 |
铝合金真空腔体 内尺寸450×450×500mm（宽×高×深） |
个 |
1 |
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3 |
激励电源 |
射频电源 |
中频电源 |
套 |
1 |
|
频率：13.56MHz； 功率0~600W 或0~1000W可选； 全自动真空电容匹配器 |
频率：40KHz； 0~1000W;
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4 |
PLC |
德国西门子，S7-200 |
个 |
1 |
|
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5 |
触摸屏 |
威纶通，七寸屏幕，MT6071iE |
个 |
1 |
|
|
6 |
流量计 |
英国wawick品牌 |
个 |
2 |
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7 |
真空泵组 |
飞越双级旋片泵（油泵）：60m3/h |
台 |
1 |
|
|
8 |
真空计 |
英福康 |
个 |
1 |
|
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9 |
说明书 |
真空等离子清洗机WBE-100操作说明书 |
份 |
1 |
|
维护保养
|
维护保养 |
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项目 |
检查内容 |
寿命 |
检查频率 |
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油泵 |
滤芯 |
使用时间2000H |
15天 |
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泵油 |
使用时间2000H |
15天 |
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