美国MOTT 高纯度散装和实用过滤器 BGF-310-1TS-N-4M

产品编号：6825116
工作条件
? 最大工作压力：高达 650 psig （44.8 barg）
? 惰性气体高工作温度：高达 450°C
? 最大压差：高达 250 psid （17.2 barg）
材料
? 硬件： 316L SS
? 过滤介质：316L SS 纤维或五®镍
? 接液硬件表面光洁度：10 Ra
? 也可提供定制材料
规格
颗粒去除粒径： ≥ 0.0015 微米
氦气泄漏等级： 1 x 10-9 大气压 cc/秒
水分贡献： 根据 SEMI F27 测试方法，在低流量环境吹扫下 1 小时后 <10 ppb
总碳氢化合物： 低于 ASTM F1398 测试方法的可检测限值
颗粒脱落： 根据 SEMI F43-0308 测试方法，高于本底的零颗粒贡献（<1 颗粒/立方英尺）
流数据
可提供额定流量高达 170,000 SLPM 的散装过滤器。
配件和尺寸
BGF-310 & BGF-315
零件描述 配件类型 A 英寸/毫米 B 英寸/毫米 C 英寸/毫米
BGF-310-2TS-N-4M
BGF-310H-2TS-N-13M 2“ 管短管 17.95/455.9 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-310-1.5TS-N-4M 1.5“ 管短管 24.39/619.5 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-310-1TS-N-4M 1“ 管短管 25.17/639.3 3.00/76.2 1.00/25.4
BGF-315-2TS-N-6M 2“ 管短管 22.98/583.7 3.00/76.2 2.00/50.8
BGF-315-1.5TS-N-6M 1.5“ 管短管 29.42/747.3 3.00/76.2 1.50/38.1
BGF-315H-40A5S-N-15M JIS40A5S 21.26/540.0 3.00/76.2 1.91/48.5
BGF-610 系列
零件描述 配件类型 A 英寸/毫米 B 英寸/毫米 C 英寸/毫米
BGF-610-4TS-N-19M BGF-610H-4TS-N-30M
4“ 管短管 18.40/467.4 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-610-2TS-N-19M 2“ 管短管 24.86/631.4 6.00/152.4 2.00/50.8
BGF-610-1.5TS-N-19M 1.5“ 管短管 24.86/631.4 6.00/152.4 1.50/38.1
BGF-610-1TS-N-19M 1“ 管短管 24.86/631.4 6.00/152.4 1.00/25.4
BGF-615 系列
零件描述 配件类型 A 英寸/毫米 B 英寸/毫米 C 英寸/毫米
BGF-615-6TS-N-28M
BGF-615H-6TS-N-35M
BGF-615HF-6TS-N-60M 6“ 管短管 28.81/731.8 6.00/152.4 6.00/152.4
BGF-615-4TS-N-28M
BGF-615H-4TS-N-35M
BGF-615HF-4TS-N-60M 4“ 管短管 23.41/594.6 6.00/152.4 4.00/101.6
BGF-615-2TS-N-28M
BGF-615H-2TS-N-35M
BGF-615HF-2TS-N-60M 2“ 管短管 29.89/759.2 6.00/152.4 2.00/50.8
BGF-815型
零件描述 配件类型 A 英寸/毫米 B 英寸/毫米 C 英寸/毫米
电子产品BGF-815HF-6TS-N-170M 6“ 管短管 22.81/579.3 8.63/219.0 6.00/152.4
BGF12P23
零件描述 配件类型 A 英寸/毫米 B 英寸/毫米 C 英寸/毫米
BGF12P23-150A5S-F-175M JIS150A5S 39.40/1000.6 12.75/323.9 6.50/165.1
*提供定制设计和配件。