美国MOTT GasShield® 垫片过滤器 GSG-V4-1-N

编号：2324100
规格
工作条件
? 惰性气体的高工作温度：450°C
? 最大压差：1000 psid 正向或反向 （68.9 barg）
材料
? 硬件：316LSS 或镍
? 过滤介质：316L 不锈钢或镍
? 哈氏合金或定制材料
规格
颗粒去除粒径： ≥ 0.003 微米
氦气泄漏等级： 1 x 10-9 大气压 cc/秒
水分贡献： 根据 SEMI F27 测试方法，在低流量环境吹扫下 1 小时后 <10 ppb
总碳氢化合物： 低于 SEMASPEC 90120396B 测试方法的可检测限值
颗粒脱落： 根据 SEMI F43-0308 测试方法，高于本底的零颗粒贡献（<1 颗粒/立方英尺）
配件和尺寸
典型安装
零件描述 流量等级 （SLPM） 过滤材料 面密封垫片尺寸（英寸） 元件长度（英寸） 更换间隔
GSG-V4-1-N 系列 1 镍 ? 1 系统相关
GSG-V4-3-N 系列 3 镍 ? 3 系统相关
GSMM-75-010-33
GSMM-75-030-33 20 镍 ? 1 系统相关
GSG-V5-1-2N 系列 50 镍 ? 1 系统相关
GSG-V4-1-S 系列 1 316L 不锈钢 ? 1 系统相关
GSG-V4-3-S 系列 3 316L 不锈钢 ? 3 系统相关
GSG-V4-1-2S型 20 316L 不锈钢 ? 1 系统相关
GSG-V5-1-2S 系列 50 316L 不锈钢 ? 1 系统相关
*提供定制设计和配件。