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压电扫描台
P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描,大通光孔径为?35mm,多种位移行程及规格型号可供选择,适用于大行程多维扫描等应用。
特性:
? 大位移370μm
? 大承载3.5kg
? 通孔直径:?35mm
1~3维扫描台
P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式,可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
典型应用
? 闭环重复定位精度高 ? 响应速度快
? 图像处理与稳定 ? 扫描显微
? 干涉/计量 ? 表面检测
? 半导体测量 ? 光学计量
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动,可以 实现大370μm的扫描范围,运动直线性好,可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。
P18采用*的结构设计,具有大刚度、大出力、大承 载等特点,大承载达3.5kg,空载谐振频率达600Hz,配 套芯明天大功率控制器响应时间高可达5ms,是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用的选择。
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动, 从而优化镜片读取的信息。
芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用 于纳米光刻实验。
P18系列压电扫描台为1-3维直线扫描台。台体采用机构放大设计原理,内置高可靠性压电陶瓷,可以实现X、XY、XYZ大370μm 的高速扫描,大通光孔径为?35mm,多种位移行程及规格型号可供选择,适用于大行程多维扫描等应用。
特性:
? 大位移370μm
? 大承载3.5kg
? 通孔直径:?35mm
1~3维扫描台
P18压电扫描台包括X/XY/XYZ三种结构形式,可以 满足1~3维大行程扫描或定位的应用需求。
典型应用
? 闭环重复定位精度高 ? 响应速度快
? 图像处理与稳定 ? 扫描显微
? 干涉/计量 ? 表面检测
? 半导体测量 ? 光学计量
大位移、大承载、高刚度、高频响
P18系列压电扫描台内置高可靠性压电陶瓷驱动,可以 实现大370μm的扫描范围,运动直线性好,可选择闭环版 本获得优异的线性度与重复定位精度。
P18采用*的结构设计,具有大刚度、大出力、大承 载等特点,大承载达3.5kg,空载谐振频率达600Hz,配 套芯明天大功率控制器响应时间高可达5ms,是精密加 工、半导体制造、扫描显微等应用的选择。
在纳米光刻实验中需要对镜片进行高速微纳米级的精密移动, 从而优化镜片读取的信息。
芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高稳定性等优点应用 于纳米光刻实验。
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