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R116(六氟乙烷,C2F6)可用于一种具多功能的蚀刻技术,常见于半导体之生产。它可用于金属硅化物及金属氧化物并相对其金属基质的选择性蚀刻。叧外,它亦用于蚀刻硅上的二氧化硅。
名称:R116、FC-116 |
中文名称:六氟乙烷,电子级氟碳,全氟乙烷,氟里昂116 |
英文全称:hexafluoroethane |
化学分子式:CF3CF3、C2F6 |
分子量:138 |
标准沸点:-78℃ |
临界温度:20℃ |
临界压力:3MPa(绝压) |
临界密度:0.613g/cm3 |
CAS编号:76-16-4 |
常用冷媒:R22,R134a,R410a,R404a,R407c,R12,R417,R507;
制冷级清洗剂、发泡剂:R123,R141b,R142b,R245fa;
超低温冷媒:R13,R14,R23,R508B;
碳氢制冷剂:R290,R600a,R170,R1270,R50,R1150;
稀有制冷剂:R116,R124,R1234yf,R1234ze,R245cb等;
另提供压缩机配套冷冻油咨询和销售服务:太阳3/4GS,CP-4214-320,冰熊(有利凯玛)RL32/68H;以及以下机组原装冷冻油:出光、约克、开利、特灵、汉钟、复盛、比泽尔等。
【奥博瑞】超低温制冷剂系列 R13 R14 R23 R503 R508B ~
常规制冷剂一般为中温或高温制冷,其温度最低不会低于-50度。针对特殊要求,
超低温制冷剂则一般可以达到-80度或-80度以下。这类制冷剂低温高压,技术复杂。