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Agilent TV401/301 NSF是特殊设计的涡轮分子泵,有时又称为Varian TV401-301,转速为60000转/分钟,极限压力:1X10-9pa可以同时抽取两个腔体的真空,TV-401 301 Macrotorr平台为3个光盘形式。涡轮转子由永久润滑的高精度陶瓷球轴承支撑,该轴承安装在泵的前排侧。定子的静叶片由不锈钢制成。这些由垫片环支撑并精确定位。Macrotorr定子采用自定位的机加工盘形式,具有泵送通道和受相应转子盘限制的开口。这些由铝合金制成。